磁控溅射仪/磁控溅射蒸发仪（含辉光放电） 型号:WZX/PISCES-900库号：M415848

真空泵 (泵油)旋转直空泵

旋转真空泵转速50 Hz:8 m2%h (2.2L/s) / 60 Hz:9.6m%/h (2.6 L/s)

JI 限真空度2pa

溅射电流≤80mA

蒸发电流≤100A

溅射工作压力8Pa-20 Pa

工作真空压力4Pa-6 Pa

真空测量 测量范围从DA气压到2x10-2mbar

腔体尺寸 φ186*120mm(长)抗刮石英玻璃

磁控靶源 靶尺寸50 /溅射靶源:金、银、铂

蒸发靶源 碳绳

操作方法 操作手册

重量/尺寸 35kg / 450mm 长x410mm宽x 480mm 

工作电源 AC220V 50HZ

电源功率 ＜2000W