气体流/量控/制器（氮/气） 0-100 sccm 型号:XLRB-D07-19B库号：M328569  

规格( 0~ 5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM

( 0~1,2,3,5,10,20,30) SLM

范围：2-99.99999999ofF.S.

准|确|度±1 % F.S. (20,30SLM: ±2% F.S.)

线性±0.5 % F.S. (20,30SLM:±2 % F.S.J

重复度±0.2 % F.S.

响应时间≤2 sec

工作压差范围≤10SLM: 0.1 ~ 0.5 MPa(14.5~72.5 psid)

> 10SLM: 0.1~ 0.3 MPa(14.5~43.5 psid)

工作压力≤1 MPa(145 psig)

耐压Pa (435.1 psig)

工作环境温度5°C~45°C

电源+15V 50 mA; -15V 200mA

重量0.95 kg