离子溅射仪(磁控) 型号:M363284库号:M363284
样品室空间:直径150mm×120mm
可配Pt靶(另购),靶材尺寸:φ50mm×0.1mm
真空电路设计,实现真空度和溅射电流,互锁,可调电流40mA;
侵入式磁控低温离子源,可换靶材,环绕暗区护罩;
使用计|时器,可调设置范围:1-500秒,连续可调
真空泄气,可通过数字定时器进行
真空泵,抽速8.5m3/h,可置于抗震台上
离子溅射仪(磁控) 型号:M363284库号:M363284
- 型 号 M363284
- 库存状态 有现货
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